CVD系統以進口電阻絲瑞典爲加熱元件，采用(yòng)雙層殼體結構和(hé)日本島電控溫儀表，能(néng)進行40段程序控溫，移相觸發、可控矽控制，爐膛采用(yòng)氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場均衡、表面溫度低(dī)、升降溫度速率快(kuài)、節能(néng)等優點，是高(gāo)校、科研院所、工(gōng)礦企業做高(gāo)溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空(kōng)退火用(yòng)的理(lǐ)想産品。
适用(yòng)範圍：
CVD系統設備可在片狀或類似形狀樣品表面沉積SiOx、SiNx、非晶矽、微晶矽、納米矽、SiC、類金(jīn)剛石等多種薄膜，并可沉積p型、n型摻雜(zá)薄膜。沉積的薄膜具有良好(hǎo)的均勻性、緻密性、粘附性、絕緣性。廣泛應用(yòng)于刀(dāo)具、高(gāo)精模具、硬質塗層、裝飾等領域。
CVD系統使用(yòng)特點說明(míng)：
1、多晶纖維爐膛，節能(néng)耐腐蝕：重量輕、升溫速度快(kuài)、節能(néng)、省時(shí)、耐高(gāo)溫、耐腐蝕、保溫性好(hǎo)，能(néng)滿足何種快(kuài)速燒結的要求。
2、高(gāo)純石英爐管爐管采用(yòng)高(gāo)純度石英玻璃材料工(gōng)藝加工(gōng)：具有極低(dī)的熱膨脹系數、耐高(gāo)溫、化學穩定性好(hǎo)、電絕緣性好(hǎo)。
3、雙層内膽爐殼雙層内膽爐殼，配有風(fēng)冷系統，快(kuài)速升降溫：整個爐體采用(yòng)雙層内膽式結構，中間有氣隙隔離，即使爐膛溫度高(gāo)達1200℃，爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。
4、真空(kōng)法蘭法蘭采用(yòng)雙環密封技術：有效的提高(gāo)了(le)法蘭的氣氛性，法蘭上(shàng)裝有多種接頭，可接電阻真空(kōng)計(jì)、真空(kōng)波紋管并能(néng)做成容易撤卸的鉸鏈式。
5、合金(jīn)電熱絲内嵌式合金(jīn)電熱絲，升溫快(kuài)，壽命長：加熱元件采用(yòng)優質内嵌式合金(jīn)電熱絲，發熱效率高(gāo)、耐高(gāo)溫、抗氧化、耐腐蝕、升溫快(kuài)、壽命長、高(gāo)溫變形小(xiǎo)、安裝維修方便，使用(yòng)壽命長。
6、微電腦(nǎo)PID控制器微電腦(nǎo)PID控制器，操作(zuò)簡便：操作(zuò)簡便，控溫準确、可靠、安全多段可編程控制，可以簡化複雜(zá)的試驗過程，真正實現(xiàn)自(zì)動控制和(hé)運行。
