詳細介紹

本設備是一款小(xiǎo)型高(gāo)真空(kōng)電阻蒸發鍍膜儀，主要特點是設備體積小(xiǎo)，結構簡單緊湊易于操作(zuò)，也(yě)可整機放(fàng)置于手套箱内，對(duì)實驗室供電要求低(dī)；該系列設備主要部件采用(yòng)進口或者國内最優的配置，從(cóng)而提高(gāo)設備的穩定性；另外(wài)自(zì)主開(kāi)發的智能(néng)操作(zuò)系統在設備的運行重複性及安全性方面得到(dào)更好(hǎo)地保障。
該設備配3組電阻蒸發源（可兼容金(jīn)屬與有機蒸發），适用(yòng)于實驗室制備金(jīn)屬、有機物蒸發。廣泛應用(yòng)于高(gāo)校實驗室和(hé)科研院所制備高(gāo)質量功能(néng)薄膜、蒸鍍電極等。特别适合OPV/鈣钛礦/無機薄膜太陽能(néng)電池、半導體、有機EL、OLED顯示研究與開(kāi)發領域。
設備主要配置表

真空(kōng)腔室	1Cr18Ni9Ti優質不鏽鋼材質，氩弧焊接，上(shàng)開(kāi)蓋和(hé)前開(kāi)門(mén)結構
真空(kōng)系統	機械泵+分子泵（國産或進口可選）， 極限真空(kōng)優于8*10-5Pa（設備空(kōng)載抽真空(kōng)24h），大(dà)氣~8*10-4Pa≦30min；采用(yòng)電阻電離一體化真空(kōng)規管讀取真空(kōng)度；閥門(mén)采用(yòng)電磁驅動擋闆閥和(hé)手動限流閥
蒸發系統	蒸發源采用(yòng)3組水(shuǐ)冷銅電極，蒸發電源采用(yòng)2KW逆變式電源，配源間防污隔闆
基片台	可拆卸式，尺寸60*60mm，旋轉：0-20r/min可調，可加熱至300℃，可選水(shuǐ)冷或是帶角度調節功能(néng)的基片台
膜厚監控儀	可選配進口或國産膜厚監控儀在線監測和(hé)控制蒸發速率、膜厚
控制系統	PLC+觸摸屏智能(néng)控制系統，具備漏氣自(zì)檢與提示、通訊故障，實現(xiàn)一鍵抽停真空(kōng)
設備尺寸	L60cm×W60cm×H96cm 機電一體化機架，預留1個CF35法蘭接口

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